BM1000系列干膜光阻剂
AQUA MER BM1000系列是一种高性能、高分辨率、多用途聚合物干膜光阻剂,具有优良的耐电镀性和细小的褪膜碎片,可提升高密度线路基板的生产率。
特色及优点
- 优良的耐电镀性
- 高解析与高纵横比
- 高密着性与分辨率
- 操作范围宽
- 曝光前后色差明显便于检查
*1:BM1120(SST=8/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数7~9,天准LDI曝光机制作(TZDI-06D310);
*2:1.0wt% Na2CO3, 30℃, 显影停留时间=最短显影时间x2;
*3:BM1120 SEM电镜图像(参照下图)。