首页    半导体/厚光阻    BM1000系列干膜光阻剂

BM1000系列干膜光阻剂

 

 

AQUA MER BM1000系列是一种高性能、高分辨率、多用途聚合物干膜光阻剂,具有优良的耐电镀性和细小的褪膜碎片,可提升高密度线路基板的生产率。

 

特色及优点

  • 优良的耐电镀性
  • 高解析与高纵横比
  • 高密着性与分辨率
  • 操作范围宽
  • 曝光前后色差明显便于检查

*1:BM1120(SST=8/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数7~9,天准LDI曝光机制作(TZDI-06D310);

*2:1.0wt% Na2CO3, 30℃, 显影停留时间=最短显影时间x2;

*3:BM1120 SEM电镜图像(参照下图)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

产品中心

PRODUCT CATEGORIES