MA300系列干膜光阻剂
AQUA MER MA300干膜光阻剂是一种高性能、全水溶性的干膜光阻剂,特别适用于外层电镀的应用。特别针对最高可能一次合格率而设计,在盖孔&蚀刻和酸性电镀工艺中有出色的性能。
特色及优点
- 极好的贴合度 - 高良率
- 盖孔能力优异
- 显影后边墙垂直/电镀后边墙垂直
- 显影泡沫少
- 高解析度、高附着力
- 应用于酸性镀铜工艺时无渗镀现象
- 化学物质渗镀少
- 褪膜性能好 - 膜屑颗粒小
- 褪膜速度快
*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11)
*2:1,0wt%Na2CO3, 30℃, 最短显影时间×2
*3:电镀后边墙,电镍金后线路图像(参照下图)