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MA300系列干膜光阻剂

 

AQUA MER MA300干膜光阻剂是一种高性能、全水溶性的干膜光阻剂,特别适用于外层电镀的应用。特别针对最高可能一次合格率而设计,在盖孔&蚀刻和酸性电镀工艺中有出色的性能。

特色及优点

  • 极好的贴合度 - 高良率
  • 盖孔能力优异
  • 显影后边墙垂直/电镀后边墙垂直
  • 显影泡沫少
  • 高解析度、高附着力
  • 应用于酸性镀铜工艺时无渗镀现象
  • 化学物质渗镀少
  • 褪膜性能好 - 膜屑颗粒小
  • 褪膜速度快

*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11)

*2:1,0wt%Na2CO3, 30℃, 最短显影时间×2

*3:电镀后边墙,电镍金后线路图像(参照下图)

 

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