MI300系列干膜光阻剂

AQUA MER MI300系列是一种高性能、全水溶性干膜光阻剂，专为要求高解析度、高良率的精细线路应用而设计，在内层酸性蚀刻工艺中有突出的表现。

特色及优点

 · 高分辨率 — 1～2 mil 线宽/线距

 · 优质的贴合度 — 高良率

 · 高附着力 — 高良率

 · 优质的图像显示对比，具备自动光学检测能力

 · 特有的感光速度 — SST=7 @ 30-50mJ/cm²

*1： MI315（SST=7/21)：采用Stouffer21格曝光尺，推荐曝光尺格数6~8，海圣平行光曝光机制作（UVE-HSP5K-11）;

*2：1.0wt% Na₂CO₃, 30℃, 显影停留时间=最短显影时间×2;

*3：MI315分辨率、解析度以及显影后图像（参照下图）。