SUB100系列干膜光阻剂

Aqua Mer SUB100系列是一种应用于载板/类载板制程的高性能、全水溶性干膜光阻剂，适用于精细线路电镀与内层蚀刻工艺，对于精细线路具有高附着力与高分辨率。

特色及优点

· 高产能

· 优良的耐电镀性

· 高附着力与高分辨率

· 优良的盖孔性能

· 易去膜，膜屑小

· 操作范围宽

· 曝光前后颜色对比明显

*1. SUB108（SST=16/41)：采用Stouffer41格曝光尺，推荐曝光尺格数13~19，IP-6;

*2. 1.0wt% Na₂CO₃, 30℃, 显影停留时间=最短显影时间x2;

*3. SUB108分辨率、解析度以及显影后SEM图像（参照下图）