TSF900系列干膜光阻剂
AQUA MER TSF900系列是一种高解析度、高附着力的全水溶性干膜光阻剂,可使用于挠性线路板以及内层蚀刻工艺,可有效地提高高密度线路板制程的良品率。
特色及优点
· 高分辨率 —0.6~ 1mil 线宽/线距
· 优质的贴合度 — 高良率
· 高附着力 — 高良率
· 特有的感光速度 — 30-40 mj/cm2能量可达6级曝光尺(21级)
· 褪膜性能优异,褪膜速度快
· 可用于湿法贴膜
*1:TSF910(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐曝光尺格数5~7,天准LDI曝光机制作(TZDI-06D310);
*2:1.0wt%Na2CO3, 30℃, 显影停留时间=最短显影时间×2;
*3:TSF910 30μm线路SEM图像(参照下图)。