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LEF112H 双波段激光直接成像干膜光阻剂

 

 

 


 

AQUA MER LEF112H水溶性干膜光阻剂是一种新型、高性能产品,特别为精细的线路而设计,适用于365nm或者365nm&405nm双波段激光直接成像系统。

 

特色及优点

 · 高解析度

 · 高附着力

 · 曝光速度极快

 · 特别适用于HVLP铜箔

*1: LEF112H(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐级数6-8,天准LDI曝光机制作(TZDI-06D310)

*2:1wt%Na2CO3, 30℃, 最短显影时间为显影停留时间的一半

*3:LEF112H SEM图片(下图)

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