LEF112H 双波段激光直接成像干膜光阻剂
AQUA MER LEF112H水溶性干膜光阻剂是一种新型、高性能产品,特别为精细的线路而设计,适用于365nm或者365nm&405nm双波段激光直接成像系统。
特色及优点
· 高解析度
· 高附着力
· 曝光速度极快
· 特别适用于HVLP铜箔
*1: LEF112H(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐级数6-8,天准LDI曝光机制作(TZDI-06D310)
*2:1wt%Na2CO3, 30℃, 最短显影时间为显影停留时间的一半
*3:LEF112H SEM图片(下图)